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      催化燃燒-粉塵處理-廢氣處理設(shè)備-噴淋塔-萬川環(huán)保公司

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      行業(yè)動態(tài)

      新材料半導(dǎo)體生產(chǎn)的廢氣怎么處理好呢?

      2022-07-29(1405)次瀏覽

        


            隨著科技的發(fā)展,目前市場上新材料行業(yè)與傳統(tǒng)材料相比,其應(yīng)用范圍更廣了,新材料產(chǎn)業(yè)的研究與開發(fā)投入高,產(chǎn)品的附加值高在生產(chǎn)與市場的國際性強,而且新材料半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展前景好。而新材料半導(dǎo)體行業(yè)在加工的過程中采用清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑,這些溶劑中含有大量的有機物成分,在整個工藝加工的過程中將會有部分的有機溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放,這部分揮發(fā)的廢氣主要成分為具有揮發(fā)性的VOCs,下面講解一下關(guān)于:新材料半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣應(yīng)該怎么處理。

      新材料半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣除了含有VOCs以外,還混有HCl、氨、HF等危險污染物,萬川環(huán)保采用的是RTO蓄熱式焚燒爐來處理半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣工業(yè)廢氣中主要含有酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣有毒氣體四種,自身具有的溶解特性,半導(dǎo)體工業(yè)的氣體雖然排放量大,但是氣體的濃度低。


            RTO設(shè)備采用的是高溫破壞焚燒的廢氣治理技術(shù),升溫能源一般是電和天然氣,其高溫需高達700度或者以上,雖然溫度需高達700度左右,但是其實消耗的能源并不多,設(shè)備運行期間部分的熱能是能夠回收重新利用的降低能量消耗的同時提高了廢氣分子的燃燒反應(yīng)速率。


      萬川環(huán)保半導(dǎo)體材料廢氣處理設(shè)備的凈化效率可維持穩(wěn)定在99%以上。



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